Industriegruppenübersicht

Maschinen- und Anlagenbau

Maschinen und Anlagen für die Halbleitertechnik und Photovoltaik

Maschinen und Anlagen für die Herstellung von Halbleitern und Solarzellen

Kristallzüchtungsanlagen

Prozessreaktoren zur Gewinnung von Mono- oder Polysilizium

Waferschleif-, -läpp- und -poliermaschinen

Nassprozessanlagen

Metallisierungssysteme für Solarzellen

Plasmaätzanlagen

Nassprozessanlagen für die Herstellung von Solar- und Dünnschichtzellen

PECVD-Anlagen

Solarzellenfertigungsanlagen

Chemikalienversorgungssysteme

Trockner für die Halbleiterherstellung

Waferverpackungsanlagen